Quantification of antimony depth profiles in Sb-doped tin dioxide thin films

S. Lehto; R. Lappalainen; H. Viirola; L. Niinistö

Quantification of antimony depth profiles in Sb-doped tin dioxide thin films

S. Lehto, R. Lappalainen, H. Viirola, L. Niinistö

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

11 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	129-134
Julkaisu	Fresenius' Journal of Analytical Chemistry
Vuosikerta	355
Tila	Julkaistu - 1996
OKM-julkaisutyyppi	A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

ale
antimony
atomic layer epitaxy
sims
tin dioxide

SFX-saatavuus

Koko teksti

Siteeraa tätä

@article{45338081a845407e8261953d99f9a354,

title = "Quantification of antimony depth profiles in Sb-doped tin dioxide thin films",

keywords = "ale, antimony, atomic layer epitaxy, sims, tin dioxide, ale, antimony, atomic layer epitaxy, sims, tin dioxide, ale, antimony, atomic layer epitaxy, sims, tin dioxide",

author = "S. Lehto and R. Lappalainen and H. Viirola and L. Niinist{\"o}",

year = "1996",

language = "English",

volume = "355",

pages = "129--134",

journal = "Fresenius' Journal of Analytical Chemistry",

issn = "0937-0633",

}

TY - JOUR

T1 - Quantification of antimony depth profiles in Sb-doped tin dioxide thin films

AU - Lehto, S.

AU - Lappalainen, R.

AU - Viirola, H.

AU - Niinistö, L.

PY - 1996

Y1 - 1996

KW - ale

KW - antimony

KW - atomic layer epitaxy

KW - sims

KW - tin dioxide

KW - ale

KW - antimony

KW - atomic layer epitaxy

KW - sims

KW - tin dioxide

KW - ale

KW - antimony

KW - atomic layer epitaxy

KW - sims

KW - tin dioxide

M3 - Article

VL - 355

SP - 129

EP - 134

JO - Fresenius' Journal of Analytical Chemistry

JF - Fresenius' Journal of Analytical Chemistry

SN - 0937-0633

ER -