Pyrazolate-based precursors for the growth of thin films by atomic layer deposition

Charles J. Winter, Charles L. Dezelah, Monika K. Wiedmann, Mark J. Saly, Lauri Niinistö

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference contribution › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Otsikko	234th ACS National Meeting, Boston, MA, United States, August 19-23, 2007
Sivut	INOR-351
Tila	Julkaistu - 2007
OKM-julkaisutyyppi	A4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

OpenUrl-saatavuus

@inproceedings{f3bb514701ef4c5088a03fd656b5edfd,

title = "Pyrazolate-based precursors for the growth of thin films by atomic layer deposition",

author = "Winter, {Charles J.} and Dezelah, {Charles L.} and Wiedmann, {Monika K.} and Saly, {Mark J.} and Lauri Niinist{\"o}",

year = "2007",

language = "English",

pages = "INOR--351",

booktitle = "234th ACS National Meeting, Boston, MA, United States, August 19-23, 2007",

}