Protective coatings of hafnium dioxide by atomic layer deposition for microelectromechanical systems applications

Maria Berdova*, Claudia Wiemer, Alessio Lamperti, Grazia Tallarida, Elena Cianci, Luca Lamagna, Stefano Losa, Silvia Rossini, Roberto Somaschini, Salvatore Gioveni, Marco Fanciulli, Sami Franssila

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

11 Sitaatiot (Scopus)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Protective coatings of hafnium dioxide by atomic layer deposition for microelectromechanical systems applications'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering

Earth and Planetary Sciences

Chemistry

Physics

Material Science