Protective coatings of hafnium dioxide by atomic layer deposition for microelectromechanical systems applications

Maria Berdova*, Claudia Wiemer, Alessio Lamperti, Grazia Tallarida, Elena Cianci, Luca Lamagna, Stefano Losa, Silvia Rossini, Roberto Somaschini, Salvatore Gioveni, Marco Fanciulli, Sami Franssila

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

6 Sitaatiot (Scopus)

Hakutulokset