Process for producing oxide thin films

Matti Putkonen (Keksijä)

    Tutkimustuotos: PatenttiPatent

    AlkuperäiskieliEnglanti
    PatenttinumeroAmerikan Yhdysvallat, US 6,548,424 B2
    TilaJulkaistu - 2003
    OKM-julkaisutyyppiH1 Myönnetyt patentit

    Tutkimusalat

    • ALD
    • metal oxides
    • thin films

    Siteeraa tätä