Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Patenttinumero | AT139805T |
IPC | H01J 37/ 32 A I |
Prioriteetti päiväys | 18/01/1988 |
Tila | Julkaistu - 15 heinäk. 1996 |
OKM-julkaisutyyppi | H1 Myönnetty patentti |
PROCEDURE AND APPARATUS FOR THE COATING OF MATERIALS BY MEANS OF A PULSATING PLASMA BEAM
Asko Anttila (Keksijä), Juha-Pekka Hirvonen (Keksijä), Jari Koskinen (Keksijä)
Tutkimustuotos: Patentti › Patent