PROCEDURE AND APPARATUS FOR IMPROVING A PLASMA ACCELERATOR PLATING APPARATUS USED FOR DIAMOND PLATING.

Asko Anttila (Keksijä), Jari Koskinen (Keksijä)

Tutkimustuotos: Patentti › Patent

AlkuperäiskieliEnglanti
PatenttinumeroEP0620867
IPCH05H 1/ 50 A I
Prioriteetti päiväys30/12/1992
TilaJulkaistu - 26 lokak. 1994
OKM-julkaisutyyppiH1 Myönnetty patentti

Siteeraa tätä