Precise chemical analysis developement for Silicon water after rapid thermal processing

D. Lioubtchenko, T.A. Brianteseva, Z.M. Lebedeva, I.A. Markov, M. Nolan, T.S. Perova, R.A. Moore

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    4 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut21-25
    JulkaisuApplied Surface Science
    Numero156
    TilaJulkaistu - 2000
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • photometry
    • rapid thermal processing
    • silicon

    Siteeraa tätä