Potential of amorphous Mo Si N films for nanoelectronic applications

Mari Ylönen, H. Kattelus, Alexandre Savin, P. Kivinen, T. Haatainen, J. Ahopelto

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    2 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut337-340
    JulkaisuMicroelectronic Engineering
    Vuosikerta70
    TilaJulkaistu - 2003
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Siteeraa tätä