(poster) Thermal stability of iron precipitates in silicon after internal gettering

Peng Zhang^*, Hele Väinölä, Andrei A. Istratov, Eicke R. Weber

^*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Abstract › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2003
OKM-julkaisutyyppi	Ei sovellu
Tapahtuma	International Conference on Defects in Semiconductors - Aarhus, Tanska Kesto: 28 heinäk. 2003 → 1 elok. 2003 Konferenssinumero: 22

Conference	International Conference on Defects in Semiconductors
Lyhennettä	ICDS
Maa/Alue	Tanska
Kaupunki	Aarhus
Ajanjakso	28/07/2003 → 01/08/2003

Siteeraa tätä

@conference{40ca5ae94b8f4dcf8c6e9cd4f2cb095e,

title = "(poster) Thermal stability of iron precipitates in silicon after internal gettering",

keywords = "Internal gettering, Iron, Re-dissolution energy barrier, Silicon",

author = "Peng Zhang and Hele V{\"a}in{\"o}l{\"a} and Istratov, {Andrei A.} and Weber, {Eicke R.}",

year = "2003",

language = "English",

note = "International Conference on Defects in Semiconductors, ICDS ; Conference date: 28-07-2003 Through 01-08-2003",

}

TY - CONF

T1 - (poster) Thermal stability of iron precipitates in silicon after internal gettering

AU - Zhang, Peng

AU - Väinölä, Hele

AU - Istratov, Andrei A.

AU - Weber, Eicke R.

N1 - Conference code: 22

PY - 2003

Y1 - 2003

KW - Internal gettering

KW - Iron

KW - Re-dissolution energy barrier

KW - Silicon

M3 - Abstract

T2 - International Conference on Defects in Semiconductors

Y2 - 28 July 2003 through 1 August 2003

ER -