(poster) Silicon surface passivation with atomic layer deposited aluminum nitride

Päivikki Repo, Yameng Bao, Heli Seppänen, Perttu Sippola, Hele Savin

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Abstract › Scientific › vertaisarvioitu

Hakutulokset