(poster) Measurement of copper in p-type silicon using charge-carrier lifetime methods

Marko Yli-Koski, Hele Savin, Eero Saarnilehto, Antti Haarahiltunen, Juha Sinkkonen, G. Berenyi, Tibor Pavelka

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaAbstractScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
TilaJulkaistu - 2005
OKM-julkaisutyyppiEi sovellu
TapahtumaConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology - La Badine, Ranska
Kesto: 25 syysk. 200530 syysk. 2005
Konferenssinumero: 11

Conference

ConferenceConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
LyhennettäGADEST
Maa/AlueRanska
KaupunkiLa Badine
Ajanjakso25/09/200530/09/2005

Tutkimusalat

  • copper
  • PCD
  • silicon
  • SPV

Siteeraa tätä