(poster) Efficient surface passivation of black silicon using spatial atomic layer deposition

Ismo Heikkinen, Päivikki Repo, Ville Vähänissi, Toni Pasanen, Ville Malinen, Hele Savin

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Abstract › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2017
OKM-julkaisutyyppi	Ei sovellu
Tapahtuma	International Conference on Crystalline Silicon Photovoltaics - Freiburg, Germany, Freiburg, Saksa Kesto: 3 huhtik. 2017 → 5 huhtik. 2017 Konferenssinumero: 7 http://siliconpv.com/home.html

Conference	International Conference on Crystalline Silicon Photovoltaics
Lyhennettä	SiliconPV 2017
Maa/Alue	Saksa
Kaupunki	Freiburg
Ajanjakso	03/04/2017 → 05/04/2017
www-osoite	http://siliconpv.com/home.html

YK:n kestävän kehityksen tavoitteet

Tämä tuotos edistää seuraavia kestävän kehityksen tavoitteita:

@conference{3b7f62850d964432939f213892e62f50,

title = "(poster) Efficient surface passivation of black silicon using spatial atomic layer deposition",

keywords = "spatial atomic layer deposition, nanostructured silicon, high surface area, surface passivation, conformal coating, aluminum oxide",

author = "Ismo Heikkinen and P{\"a}ivikki Repo and Ville V{\"a}h{\"a}nissi and Toni Pasanen and Ville Malinen and Hele Savin",

year = "2017",

language = "English",

note = "International Conference on Crystalline Silicon Photovoltaics, SiliconPV 2017 ; Conference date: 03-04-2017 Through 05-04-2017",

url = "http://siliconpv.com/home.html",

}

TY - CONF

T1 - (poster) Efficient surface passivation of black silicon using spatial atomic layer deposition

AU - Heikkinen, Ismo

AU - Repo, Päivikki

AU - Vähänissi, Ville

AU - Pasanen, Toni

AU - Malinen, Ville

AU - Savin, Hele

N1 - Conference code: 7

PY - 2017

Y1 - 2017

KW - spatial atomic layer deposition

KW - nanostructured silicon

KW - high surface area

KW - surface passivation

KW - conformal coating

KW - aluminum oxide

M3 - Abstract

T2 - International Conference on Crystalline Silicon Photovoltaics

Y2 - 3 April 2017 through 5 April 2017

ER -