(poster) Effect of ALD Reactants on Blistering of Aluminum Oxide Films on Crystalline Silicon

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Abstract › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppi	Ei oikeutettu
Tapahtuma	IEEE Photovoltaic Specialist Conference - Tampa, Yhdysvallat Kesto: 17 kesäk. 2013 → 21 kesäk. 2013 Konferenssinumero: 39

Conference	IEEE Photovoltaic Specialist Conference
Maa/Alue	Yhdysvallat
Kaupunki	Tampa
Ajanjakso	17/06/2013 → 21/06/2013

OpenUrl-saatavuus

@conference{15c267aaedb149d6a6e06d79dce2c91f,

title = "(poster) Effect of ALD Reactants on Blistering of Aluminum Oxide Films on Crystalline Silicon",

author = "Shuo Li and P{\"a}ivikki Repo and {von Gastrow}, Guillaume and Yameng Bao and Hele Savin",

year = "2013",

language = "English",

note = "IEEE Photovoltaic Specialist Conference ; Conference date: 17-06-2013 Through 21-06-2013",

}