(poster) Effect of ALD Reactants on Blistering of Aluminum Oxide Films on Crystalline Silicon

Shuo Li, Päivikki Repo, Guillaume von Gastrow, Yameng Bao, Hele Savin

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaAbstractScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
TilaJulkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppiEi oikeutettu
TapahtumaIEEE Photovoltaic Specialist Conference - Tampa, Yhdysvallat
Kesto: 17 kesäk. 201321 kesäk. 2013
Konferenssinumero: 39

Conference

ConferenceIEEE Photovoltaic Specialist Conference
Maa/AlueYhdysvallat
KaupunkiTampa
Ajanjakso17/06/201321/06/2013

Siteeraa tätä