(poster) Contact formation via femtosecond-laser hyperdoping in silicon optoelectronic devices

Xiaolong Liu^*, Kexun Chen, Behrad Radfar, Patrick Mc Kearney, Simon Paulus, Sören Schäfer, Michael Serué, Doris Mutschall, Vesa Koskinen, Toni Pasanen, Ville Vähänissi, Mikko Juntunen, Stefan Kontermann, Hele Savin

^*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Electron Physics Group (EPG)
Elektroniikan ja nanotekniikan laitos

ElFys Inc.
Hochschule RheinMain - RheinMain University of Applied Sciences
InfraTec GmbH
Noptel Oy

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Abstract › Scientific › vertaisarvioitu

14 Lataukset (Pure)

1 tulosta

Suodatin

Päättynyt
FemtoBlack: Femtosecond laser sulfur hyperdoped black silicon for infrared photonic applications
Savin, H. (Vastuullinen tutkija), Yli-Koski, M. (Projektin jäsen), Liu, X. (Projektin jäsen), Setälä, O. (Projektin jäsen) & Radfar, B. (Projektin jäsen)
01/03/2020 → 31/08/2023
Projekti: Business Finland: Strategic centres for science, technology and innovation (SHOK)

(poster) Contact formation via femtosecond-laser hyperdoping in silicon optoelectronic devices

Projektit

Hakutulokset

FemtoBlack: Femtosecond laser sulfur hyperdoped black silicon for infrared photonic applications