Pore formation in inorganic-organic hydrid material by oxygen plasma treatment

Susanna Aura, Ville Jokinen, Marc Baumann, Sami Franssila

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisupaikkaUSA
    Sivut461-464
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiThe 15th International Conference on solid-state senrors, actuators and microsystems, Denver, USA, June 21-25 2009
    KustantajaIEEE

    Siteeraa tätä