Plasma-enhanced atomic layer deposition of aluminum nitride : characteristics and applications

Julkaisun otsikon käännös: Alumiininitridin plasma-avusteinen atomikerroskasvatus : ominaisuudet ja sovellukset

Tutkimustuotos: Doctoral ThesisCollection of Articles

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Alumiininitridin plasma-avusteinen atomikerroskasvatus : ominaisuudet ja sovellukset'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science