P-Channel GaN transistor based on p-GaN/AlGaN/GaN on Si

Nadim Chowdhury*, Jori Lemettinen, Qingyun Xie, Yuhao Zhang, Nitul S. Rajput, Peng Xiang, Kai Cheng, Sami Suihkonen, Han Wui Then, Tomas Palacios

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

28 Sitaatiot (Scopus)

Abstrakti

In this letter, we demonstrate a recessed-gate p-channel MISFET using a p-GaN (70 nm)/Al 0.2Ga0.8N (15 nm)/GaN heterostructure grown by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) on a Si substrate. A major benefit of such epi-structure is that it contains both a 2-dimensional electron gas (2-DEG) and a 2-dimensional hole gas (2-DHG), hence making it suitable for the GaN-based complementary circuit implementation. In addition, the 2-DEG at the interface of the AlGaN/GaN heterostructure is depleted due to the p-GaN layer on top giving rise to normally- OFF operation for the n-channel transistors. A contact resistivity of 4.9 × 10-6Ω · cm2 is obtained for the ohmic contact to the hole channel for a p-GaN Mg concentration of 2 × 1020 cm-3. Long channel (Lg = 3 μm and Lsd = 9 μm) p-type transistors show an ON-OFF current ratio of ~105 and ON resistance of ~2.3 kΩ · mm at V GS = -11 V.

AlkuperäiskieliEnglanti
Artikkeli8713471
Sivut1036-1039
Sivumäärä4
JulkaisuIEEE Electron Device Letters
Vuosikerta40
Numero7
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 1 heinäkuuta 2019
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'P-Channel GaN transistor based on p-GaN/AlGaN/GaN on Si'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Siteeraa tätä