Ozone-based batch atomic layer deposited Al2O3 for effective surface passivation

Guillaume von Gastrow, Shuo Li, Päivikki Repo, Yameng Bao, Matti Putkonen, Hele Savin

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

21 Sitaatiot (Scopus)
201 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Ozone-based batch atomic layer deposited Al2O3 for effective surface passivation'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science