Ozone-based batch atomic layer deposited Al2O3 for effective surface passivation

Guillaume von Gastrow, Shuo Li, Päivikki Repo, Yameng Bao, Matti Putkonen, Hele Savin

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

21 Sitaatiot (Scopus)
201 Lataukset (Pure)

Hakutulokset