(oral talk) Doping in silicon affects the blistering of ALD-grown aluminium oxide

Jennifer Ott, Moises Garín, Kawa Rosta, Toni P. Pasanen, Ville Vähänissi, Hele Savin

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaAbstractScientificvertaisarvioitu

Suodatin
Aktiivinen

Hakutulokset