(oral talk) Doping in silicon affects the blistering of ALD-grown aluminium oxide

Jennifer Ott, Moises Garín, Kawa Rosta, Toni P. Pasanen, Ville Vähänissi, Hele Savin

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Abstract › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2019
OKM-julkaisutyyppi	Ei sovellu
Tapahtuma	Conference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology - Seehotel Zeuthen, Zeuthen, Saksa Kesto: 22 syysk. 2019 → 27 syysk. 2019 Konferenssinumero: 18 https://www.gadest2019.org/index.php

Conference	Conference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
Lyhennettä	GADEST
Maa/Alue	Saksa
Kaupunki	Zeuthen
Ajanjakso	22/09/2019 → 27/09/2019
www-osoite	https://www.gadest2019.org/index.php

-: Fotoniikan Tutkimus ja Innovaatio
Savin, H. (Vastuullinen tutkija)
01/01/2019 → 31/12/2022
Projekti: Academy of Finland: Other research funding
PREIN: Fotoniikan Tutkimus ja Innovaatio
Mäkelä, K. (Vastuullinen tutkija)
01/01/2019 → 31/12/2022
Projekti: Academy of Finland: Other research funding

OtaNano
Rissanen, A. (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanofab
Repo, P. (Manager) & Rissanen, A. (Other)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@conference{6e2fd46c225c4777abf990a2cbb45d95,

title = "(oral talk) Doping in silicon affects the blistering of ALD-grown aluminium oxide",

keywords = "aluminium oxide, silicon, surface passivation, doping, blistering",

author = "Jennifer Ott and Moises Gar{\'i}n and Kawa Rosta and Pasanen, {Toni P.} and Ville V{\"a}h{\"a}nissi and Hele Savin",

year = "2019",

language = "English",

note = "Conference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology , GADEST ; Conference date: 22-09-2019 Through 27-09-2019",

url = "https://www.gadest2019.org/index.php",

}

TY - CONF

T1 - (oral talk) Doping in silicon affects the blistering of ALD-grown aluminium oxide

AU - Ott, Jennifer

AU - Garín, Moises

AU - Rosta, Kawa

AU - Pasanen, Toni P.

AU - Vähänissi, Ville

AU - Savin, Hele

N1 - Conference code: 18

PY - 2019

Y1 - 2019

KW - aluminium oxide

KW - silicon

KW - surface passivation

KW - doping

KW - blistering

M3 - Abstract

T2 - Conference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology

Y2 - 22 September 2019 through 27 September 2019

ER -