(oral talk) Doping in silicon affects the blistering of ALD-grown aluminium oxide

Jennifer Ott, Moises Garín, Kawa Rosta, Toni P. Pasanen, Ville Vähänissi, Hele Savin

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaAbstractScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
TilaJulkaistu - 2019
OKM-julkaisutyyppiEi oikeutettu
TapahtumaConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology - Seehotel Zeuthen, Zeuthen, Saksa
Kesto: 22 syysk. 201927 syysk. 2019
Konferenssinumero: 18
https://www.gadest2019.org/index.php

Conference

ConferenceConference on Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
LyhennettäGADEST
Maa/AlueSaksa
KaupunkiZeuthen
Ajanjakso22/09/201927/09/2019
www-osoite

Siteeraa tätä