(oral talk) Characterization of denuded zones in internally gettered silicon wafers by electron beam induced current measurements

Antti Haarahiltunen, Hele Väinölä, M Yli-Koski, Risto Ruotsalainen, E Saarnilehto, S Kaarlela, E Haimi, J. Sinkkonen

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Abstract › Scientific › vertaisarvioitu

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin '(oral talk) Characterization of denuded zones in internally gettered silicon wafers by electron beam induced current measurements'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering

Material Science

Earth and Planetary Sciences