Optical waveguides on polysilicon-on-insulator

Antti Säynätjoki, Juha Riikonen, Harri Lipsanen, Jouni Ahopelto

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    10 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut417-420
    Sivumäärä4
    JulkaisuJournal of Materials Science: Materials in Electronics
    Vuosikerta14
    Numero5
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - toukokuuta 2003
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • optical waveguides
    • polycrystalline silicon
    • silicon-on-insulator

    Siteeraa tätä