Optical waveguide for integrated optical circuit and method for producing the optical waveguide

Timo Aalto (Keksijä)

    Tutkimustuotos: PatenttiPatent

    AlkuperäiskieliEnglanti
    PatenttinumeroKansainvälinen patentti, WO 03/985429 A1
    TilaJulkaistu - 2003
    OKM-julkaisutyyppiH1 Myönnetyt patentit

    Tutkimusalat

    • integrated optical circuit
    • integrated optics
    • multi-step patterning
    • optical waveguide
    • silicon on insulator
    • waveguide bend

    Siteeraa tätä