Optical metrology of thin films using high-accuracy spectro-photometric measurements with oblique angles of incidence

S. Nevas, F. Manoocheri, E. Ikonen, A. Tikhonravov, M. Kokarev, M. Trubetskov

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

3 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut234-242
JulkaisuProceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
Vuosikerta5250
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2004
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

  • characterization
  • polarization
  • refractive index
  • spectophotometric measurements
  • thin film

Siteeraa tätä