On-Chip Digitally Tunable High Voltage Generator for Electrostatic Control of Micromechanical Devices

Lasse Aaltonen, Mikko Saukoski, Kari Halonen

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    9 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoIEEE Custom Integrated Circuits (CICC) 2006, San Jose, CA, USA, 10-13, September 2006
    Sivut583-586
    TilaJulkaistu - 2006
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • Digital
    • High-voltage
    • MEMS

    Siteeraa tätä