Numerical study on the fluid dynamical aspects of atomic layer deposition process

Petteri Peltonen*, Ville Vuorinen, Giovanni Marin, Antti J. Karttunen, Maarit Karppinen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

16 Sitaatiot (Scopus)
624 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Numerical study on the fluid dynamical aspects of atomic layer deposition process'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering