Numerical study on the fluid dynamical aspects of atomic layer deposition process

Petteri Peltonen*, Ville Vuorinen, Giovanni Marin, Antti J. Karttunen, Maarit Karppinen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

16 Sitaatiot (Scopus)
555 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Numerical study on the fluid dynamical aspects of atomic layer deposition process'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering

Physics

Chemical Engineering