Numerical and Compact Modelling of Squeeze-film Damping in RF MEMS Resonator

Timo Veijola, Anu Lehtovuori

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    3 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoDesign, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Nice, France, 9-11 April 2008
    JulkaisupaikkaNice, France
    KustantajaDTIP 2008
    Sivut222-228
    ISBN (painettu)978-2-35500-006-5
    TilaJulkaistu - 2008
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • squeeze-film, trapped gas, oscillatory flow, RF MEMS, damping

    Siteeraa tätä

    Veijola, T., & Lehtovuori, A. (2008). Numerical and Compact Modelling of Squeeze-film Damping in RF MEMS Resonator. teoksessa Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Nice, France, 9-11 April 2008 (Sivut 222-228). DTIP 2008.