Novel low-temperature interconnects for 2.5/3D MEMS integration: demonstration and reliability

Fahimeh Emadi, Vesa Vuorinen, Shenyi Liu, Mervi Paulasto-Krockel

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

1 Sitaatiot (Scopus)

8 Lataukset (Pure)

2 tulosta
- Nimi(laskeva)

OtaNano
Rissanen, A. (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanomikroskopiakeskus
Seitsonen, J. (Manager) & Rissanen, A. (Other)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility