Non-tilting out-of-plane mode high-Q mechanical silicon oscillator as a moving cavity mirror

Ossi Hahtela, Ilkka Tittonen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    2 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut417-423
    JulkaisuApplied Physics B: Lasers and Optics
    Vuosikerta88
    Numero3
    TilaJulkaistu - 2007
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • high-Q-mechanical oscillator
    • microsystems

    Siteeraa tätä