Non-Reflecting Silicon and Polymer Surfaces by Plasma Etching and Replication

Lauri Sainiemi; Ville Jokinen; Ali Shah; Maksim Shpak; Susanna Aura; Pia Suvanto; Sami Franssila

doi:10.1002/adma.201001810

Non-Reflecting Silicon and Polymer Surfaces by Plasma Etching and Replication

Lauri Sainiemi
, Ville Jokinen
, Ali Shah
, Maksim Shpak
, Susanna Aura
, Pia Suvanto
, Sami Franssila

Kemian ja materiaalitieteen laitos

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

170 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	122-126
Julkaisu	Advanced Materials
Vuosikerta	23
Numero	1
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1002/adma.201001810
Tila	Julkaistu - 2011
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

YK:n kestävän kehityksen tavoitteet

Tämä tuotos edistää seuraavia kestävän kehityksen tavoitteita:

SDG 9 – Teollisuus, innovaatiot ja infrastruktuuri

Pääsy asiakirjaan

10.1002/adma.201001810

Muut tiedostot ja linkit

http://dx.doi.org/10.1002/adma.201001810

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Karppinen, M. (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@article{9e93f67f02644515b6b984b89acc1961,

title = "Non-Reflecting Silicon and Polymer Surfaces by Plasma Etching and Replication",

author = "Lauri Sainiemi and Ville Jokinen and Ali Shah and Maksim Shpak and Susanna Aura and Pia Suvanto and Sami Franssila",

year = "2011",

doi = "10.1002/adma.201001810",

language = "English",

volume = "23",

pages = "122--126",

journal = "Advanced Materials",

issn = "0935-9648",

publisher = "Wiley",

number = "1",

}

TY - JOUR

T1 - Non-Reflecting Silicon and Polymer Surfaces by Plasma Etching and Replication

AU - Sainiemi, Lauri

AU - Jokinen, Ville

AU - Shah, Ali

AU - Shpak, Maksim

AU - Aura, Susanna

AU - Suvanto, Pia

AU - Franssila, Sami

PY - 2011

Y1 - 2011

UR - http://dx.doi.org/10.1002/adma.201001810

U2 - 10.1002/adma.201001810

DO - 10.1002/adma.201001810

M3 - Article

SN - 0935-9648

VL - 23

SP - 122

EP - 126

JO - Advanced Materials

JF - Advanced Materials

IS - 1

ER -

Non-Reflecting Silicon and Polymer Surfaces by Plasma Etching and Replication

YK:n kestävän kehityksen tavoitteet

Pääsy asiakirjaan

Muut tiedostot ja linkit

Laitteet

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri

Siteeraa tätä