Neural analysis of integrated circuit yield dependence on CMOS process control parameters

Mika Karilahti

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    1 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut00-00
    JulkaisuMicroelectronics Reliability
    Numero00
    TilaJulkaistu - 2002
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • semiconductors
    • synchrotron X-ray topography

    Siteeraa tätä