Neodymium oxide and neodymium aluminate thin films by atomic layer deposition

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

  • Anne Kosola
  • Jani Päiväsaari
  • Matti Putkonen
  • Lauri Niinistö

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut152-159
JulkaisuThin Solid Films
Vuosikerta479
Numero1-2
TilaJulkaistu - 2005
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • ALD, atomic layer deposition, neodymium oxide

ID: 2394983