Nanoporous Metal-Organic Framework Thin Films Prepared Directly from Gaseous Precursors by Atomic and Molecular Layer Deposition: Implications for Microelectronics

Jenna Multia, Dmitry E. Kravchenko, Víctor Rubio-Giménez, Anish Philip, Rob Ameloot*, Maarit Karppinen*

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

2 Sitaatiot (Scopus)
22 Lataukset (Pure)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Nanoporous Metal-Organic Framework Thin Films Prepared Directly from Gaseous Precursors by Atomic and Molecular Layer Deposition: Implications for Microelectronics'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science

Chemistry