MOVPE growth of N-polar AlN on 4H-SiC: Effect of substrate miscut on layer quality

J. Lemettinen*, H. Okumura, I. Kim, C. Kauppinen, T. Palacios, S. Suihkonen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

12 Sitaatiot (Scopus)
18 Lataukset (Pure)

Hakutulokset