MOVPE growth of N-polar AlN on 4H-SiC: Effect of substrate miscut on layer quality

J. Lemettinen*, H. Okumura, I. Kim, C. Kauppinen, T. Palacios, S. Suihkonen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

25 Sitaatiot (Scopus)
96 Lataukset (Pure)

Hakutulokset