Molecular control of interface chemistry by atomic layer deposition (ALD), A case study on novel gas-solid interactions of aminoalkoxysilanes with silica

Eero Iiskola, Satu Ek

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisupaikkaHelsinki
    Sivut141
    TilaJulkaistu - 2004
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiAVS Topical Conference on Atomic Layer Deposition, Helsinki, August 16-18, 2004
    KustantajaAmerican Vacuum Society

    Tutkimusalat

    • ALD
    • atomic layer deposition
    • porous silica

    Siteeraa tätä