Modelling and validation of air damping in perforated gold and silicon MEMS plates

Giorgio De Pasquale, Timo Veijola, Aurelio Somà

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    56 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut015010
    JulkaisuJournal of Micromechanics and Microengineering
    Vuosikerta20
    Numero1
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2010
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • gas damping
    • MEMS
    • modelling
    • perforated plate

    Siteeraa tätä