Modeling phosphorus diffusion gettering of iron in single crystal silicon

Antti Haarahiltunen, Hele Savin, Marko Yli-Koski, Heli Talvitie, Juha Sinkkonen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    44 Sitaatiot (Scopus)
    19 Lataukset (Pure)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut4
    JulkaisuJournal of Applied Physics
    Vuosikerta105
    Numero2
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • gettering
    • iron
    • phosphorus
    • silicon

    Siteeraa tätä