Modeling and optimization of internal gettering of iron in silicon

Antti Haarahiltunen, Hele Väinölä, Olli Anttila, Marko Yli-Koski, Juha Sinkkonen

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    6 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoElectrochemical Society Fall 2006 Meeting (29.10. -3.11. Cancun, Mexico)
    KustantajaThe Electrochemical Society
    Sivut273-278
    ISBN (painettu)19385-862
    TilaJulkaistu - 2006
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Julkaisusarja

    Nimi
    KustantajaThe Electrochemical Society
    ISSN (painettu)1938-5862

    Tutkimusalat

    • internal gettering
    • iron
    • silicon
    • simulation

    Siteeraa tätä