Modeling and optimization of internal gettering of iron in silicon

Antti Haarahiltunen, Hele Väinölä (Savin), Olli Anttila, Marko Yli-Koski, Juha Sinkkonen

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference article in proceedingsScientificvertaisarvioitu

6 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoECS Transactions
ToimittajatC. L. Claeys, M. Watanabe, R. Falster, P. Stallhofer
KustantajaElectrochemical Society
Sivut273-278
Vuosikerta3
ISBN (painettu)19385-862
TilaJulkaistu - 2006
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisussa
TapahtumaElectrochemical Society Meeting - Cancun , Meksiko
Kesto: 29 lokak. 20063 marrask. 2006

Conference

ConferenceElectrochemical Society Meeting
LyhennettäECS
Maa/AlueMeksiko
KaupunkiCancun
Ajanjakso29/10/200603/11/2006

Tutkimusalat

  • internal gettering
  • iron
  • silicon
  • simulation

Siteeraa tätä