Model for GAS Film Damping in a Silicon Accelerometer

T. Veijola, H. Kuisma, J. Lahdenperä

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    41 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisupaikkaEspoo
    Sivut27
    TilaJulkaistu - 1997
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiCircuit Theory Laboratory Report Series
    KustantajaHelsinki University of Technology, Circuit Theory Laboratory
    NumeroCT-29
    ISSN (painettu)1239-8233

    Tutkimusalat

    • accelerometer model
    • effective viscosity
    • gas film damping
    • rarefied gas flow

    Siteeraa tätä