Model for Gas Damping in Air Gaps of RF MEMS Resonators

Timo Veijola, Anu Lehtovuori

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoSymposium on DTIP of MEMS & MOEMS, Stresa, Italy, 25-27 April 2007
    ToimittajatK. Chakrabarty, B. Courtois, E. Jung, V. Kempe, R. Laur
    JulkaisupaikkaStresa, Italy
    Sivut156-161
    TilaJulkaistu - 2007
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • Gas damping, Air gap resonance, RF MEMS resonator

    Siteeraa tätä

    Veijola, T., & Lehtovuori, A. (2007). Model for Gas Damping in Air Gaps of RF MEMS Resonators. teoksessa K. Chakrabarty, B. Courtois, E. Jung, V. Kempe, & R. Laur (Toimittajat), Symposium on DTIP of MEMS & MOEMS, Stresa, Italy, 25-27 April 2007 (Sivut 156-161).