Microsystems and nanotechnology in the Nordic region

S. Franssila, L. Furuberg, P. Enoksson, F. Grey, A. Larsen

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoProc. 8th Worl Micromachine Summit, Maastricht, 2002
TilaJulkaistu - 2002
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Tutkimusalat

  • MEMS
  • microsystems
  • nanotechnology
  • Nordic

Siteeraa tätä