Microscopic silicon-based lateral high-aspect-ratio structures for thin film conformality analysis

Feng Gao, Sanna Arpiainen, Riikka L. Puurunen*

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

44 Sitaatiot (Scopus)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Microscopic silicon-based lateral high-aspect-ratio structures for thin film conformality analysis'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering

Chemistry

Material Science