Microscopic silicon-based lateral high-aspect-ratio structures for thin film conformality analysis

Feng Gao, Sanna Arpiainen, Riikka L. Puurunen*

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

45 Sitaatiot (Scopus)

Hakutulokset