Microresonators with active post-processing gap adjustment

Mika Koskenvuori, P. Rantakari, J. Väisäsvaara, I. Tittonen, A. Mattila, A. Oja, V. Kaajakari, H. Seppä, H. Kattelus, J. Kiihamäki

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference article in proceedingsScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoXXXVII Annual Conference of Finnish Physical Society, Helsinki, April 2003
    Sivut07
    TilaJulkaistu - 2003
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

    Tutkimusalat

    • micromechanics
    • rf-mems
    • tunable capacitor

    Siteeraa tätä