Microresonators with active post-processing gap adjustment

Mika Koskenvuori, P. Rantakari, J. Väisäsvaara, I. Tittonen, A. Mattila, A. Oja, V. Kaajakari, H. Seppä, H. Kattelus, J. Kiihamäki

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoXXXVII Annual Conference of Finnish Physical Society, Helsinki, April 2003
Sivut07
TilaJulkaistu - 2003
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Tutkimusalat

  • micromechanics
  • rf-mems
  • tunable capacitor

Siteeraa tätä