Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Otsikko | XXXVII Annual Conference of Finnish Physical Society, Helsinki, April 2003 |
Sivut | 07 |
Tila | Julkaistu - 2003 |
OKM-julkaisutyyppi | A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa |
Tutkimusalat
- micromechanics
- rf-mems
- tunable capacitor
Mika Koskenvuori, P. Rantakari, J. Väisäsvaara, I. Tittonen, A. Mattila, A. Oja, V. Kaajakari, H. Seppä, H. Kattelus, J. Kiihamäki
Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu
Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Otsikko | XXXVII Annual Conference of Finnish Physical Society, Helsinki, April 2003 |
Sivut | 07 |
Tila | Julkaistu - 2003 |
OKM-julkaisutyyppi | A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa |