Abstrakti
A method and apparatus, the method including: forming a recess in a graphene layer wherein the recess creates a boundary between a first portion of the graphene layer and a second portion of the graphene layer; depositing electrically insulating material within the recess; and depositing an electrically conductive material over the insulating material.
| Alkuperäiskieli | Englanti |
|---|---|
| Patenttinumero | US8865268B2 |
| IPC | C23C 14/04; H01L 29/16; H01B 1/04 |
| Prioriteetti päiväys | 28/04/2009 |
| Tila | Julkaistu - 21 lokak. 2014 |
| OKM-julkaisutyyppi | H1 Myönnetty patentti |
Sormenjälki
Sukella tutkimusaiheisiin 'Method and apparatus'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.Siteeraa tätä
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver