Sormenjälki
Sukella tutkimusaiheisiin 'Metalorganic Chemical Vapor Deposition of AlN on High Degree Roughness Vertical Surfaces for MEMS Fabrication'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.- Järjestys:
- Painoarvo
- Aakkosjärjestyksessä
Metalorganic Chemical Vapor Deposition of AlN on High Degree Roughness Vertical Surfaces for MEMS Fabrication
Kristina Bespalova*, Glenn Ross, Sami Suihkonen, Mervi Paulasto-Kröckel
*Tämän työn vastaava kirjoittaja
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
3
Sitaatiot
(Scopus)
44
Lataukset
(Pure)