Metalorganic Chemical Vapor Deposition of AlN on High Degree Roughness Vertical Surfaces for MEMS Fabrication

Kristina Bespalova*, Glenn Ross, Sami Suihkonen, Mervi Paulasto-Kröckel

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

3 Sitaatiot (Scopus)
44 Lataukset (Pure)

Hakutulokset